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 当社では1982年より半導体用超高純度有機金属の製造を開始しており、長年に渡りお客様のご要望にお応えし、製品の品質改良に取り組んで参りました。金属不純物/有機シリコンの低減に始まり、TMIの供給安定性の向上、酸素含有量の低減化では多数のお客様のご評価をいただいております。
また、有機金属は消防法上危険物第三類（禁水性及び自然発火性物質）に該当するため、製造/出荷といった製品の取り扱いにはより徹底した安全管理が求められます。当社はアルキルアルミニウムの製造で培われた経験を生かし、万全の管理体制を整えています。
| 半導体用高純度有機金属 |
略式名称 |
名称 |
化学式 |
| 種別 |
Electronic grade metal alkyls |
EG-TMI |
Trimethylindium |
(CH3)3In |
| EG-TMG |
Trimethylgallium |
(CH3)3Ga |
| EG-TEG |
Triethylgallium |
(C2H5)3Ga |
| EG-TMAL |
Trimethylaluminum |
(CH3)3Al |
| EG-DEZ |
Diethylzinc |
(C2H5)2Zn |
| EG-DMZ |
Dimethylzinc |
(CH3)2Zn |
| 用途 |
半導体レーザー、発光ダイオード、高周波デバイス等の製造原料 |
| 特徴 |
クリーン環境で高度な精製技術により製造されています。顧客ニーズに合せた対応が可能です。 |
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半導体用超高純度有機金属は、化合物半導体の成膜技術のひとつであるMOCVD法（Metal-Oｒganic Chemical Vapor Deposition）の原料として使用されます。
